注资1亿元，中微成立四川全资子公司，加速产能布局
芯碁微装拟设1亿元全资子公司，加速布局高端装备业务
2026年8月26日，芯碁���装（股票代码：688630）发布公告称，公司计划以自有或自筹资金1亿元人民币，在上海设立全资子公司“基石微（上海）科技有限公司”，持股比例100%。此次投资不构成关联交易，亦不涉及重大资产重组。
从历史发展脉络看，芯碁微装自2015年成立以来，始终聚焦于微纳直写光刻设备的研发与产业化。2021年登陆科创板后，公司加快了在半导体、显示面板及PCB（印制电路板）等领域的设备布局。此次新设子公司，是其近五年内第三次通过设立独立法人主体拓展业务边界，前两次分别为2022年在合肥设立研发中心和2024年在苏州布局智能制造产线。
公告指出，新公司“基石微（上海）科技有限公司”将专注于高端光刻装备核心模块的技术攻关与系统集成，旨在强化公司在泛半导体制造设备领域的综合竞争力。芯碁微装表示，此举有助于优化研发资源配置，提升技术成果转化效率，并为未来参与更高精度制程设备竞争奠定基础。
据公开财报数据，芯碁微装2025年全年营收达9.8亿元，同比增长23.6%；研发投入占比连续三年维持在18%以上。分析人士认为，在国产替代加速与先进封装需求上升的背景下，该公司通过设立专业化子公司，有望进一步细分技术赛道、吸引专项人才，并增强供应链协同能力。
本次投资尚需完成工商注册登记等法定程序。芯碁微装强调，新设子公司短期内不会对公司财务状况产生重大影响，但长期将服务于其“平台化+模块化”战略目标。
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